标签: 几何精度检测

本文深入探讨激光干涉仪在超精密机床几何精度检测与补偿中的核心作用。文章不仅解析了其高精度、非接触的测量原理，更详细阐述了其在直线度、垂直度、角度等关键几何误差检测中的实际应用流程。重点介绍了基于检测数据的实时补偿技术如何将机床精度提升至亚微米级，并展望了其在激光切割、激光焊接等高端加工领域确保加工精

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